Mittels der Rasterelektronenmikroskopie ist über einen großen Vergrößerungsbereich die Betrachtung von Oberflächenformen räumlich strukturierter Objekte möglich.
Durch geeignete Proben‑Präparationen können Oberflächen oder Bruchkanten von fast allen Materialien die eine Vakuumstabilität haben untersucht werden.
In der Grenzflächen-, Nanopartikel- oder Membrananalytik liefert die Analyse und Darstellung von Strukturen im Bereich von wenigen Nanometern bis zu Mikrometern Informationen und Hinweise zu Poren- und Partikelgröße, Risse und Rauigkeit, Kavitäten oder sonstigen besonderen Formen.
Das am Fraunhofer IGB vorhandene GeminiSEM500 (Fa. Zeiss SMT) ist ein Feldemission‑Rasterelektronenmikroskop (FE‑REM) und eignet sich auch zur Analyse von strahlenempfindlichen Proben, nichtleitenden Materialien und um oberflächennahe Informationen zur Beschaffenheit der Probe zu erhalten.
Durch Interaktion des Elektronenstrahls mit der Probe entstehen Röntgenstrahlen, die Informationen über die chemische Elementzusammensetzung liefern. Dafür sind zwei EDX‑Detektoren (XFlash und FlatQuad Fa. Bruker Nano) eingebaut. Über das REM‑Imaging können gezielt interessierende Probenstellen aufgesucht und in kleinsten Volumina auch geringe Elementzusammensetzungsunterschiede nachgewiesen und detektiert werden.