Prinzip und Signale in einem Rasterelektronenmikroskop
Ein Primärelektronenstrahl wird mithilfe einer Elektrodenkathode und Beschleunigung zur Anode hin, erzeugt und durch nachfolgende elektromagnetische Linsen auf die Oberfläche der zu untersuchenden Probe möglichst fein fokussiert.
Ein thermischer Schottky Feldemitter garantiert eine hohe und stabile Strahlstromstärke. Durch eine cross‑over freie elektronenoptische Säule (Beam Booster) ist eine Hochauflösende Abbildung und Signalerfassung im Niederspannungsbereich möglich. Durch eine sogenannte NanoVP Vorrichtung sind mit variabler Druckeinstellung und unter bestimmten Voraussetzungen und Gegebenheiten auch hochauflösende Abbildung von nichtleitenden Materialien möglich.
In der Probe werden in einem von der Beschleunigungsspannung und der Materialzusammensetzung abhängigem Wechselwirkungsvolumen Sekundärelektronen (SE1 und SE2), Rückstreuelektronen (BSE) und Röntgenstrahlung erzeugt. Die Energie der Röntgenstrahlung ist von der Ordnungszahl des emittierenden Atoms abhängig und damit für das betreffende Element „charakteristisch“. Alle diese Signale können mit entsprechenden Detektoren registriert werden.
Topographie-, Material- und/oder Elementkontraste können so abgebildet werden.